| 反轉設計 | 8軸/8片(※主動的轉動戰略布局完工單雙面汽車鍍膜) |
| 拆遷賠償(含守護需用)[mm] | W4,000×D5,800×H2,637mm |
| 使用[kg] | 4,685kg |
| 進氣標準 | 22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱 |
| 的基板加水 | 加水絲 350℃ or 鹵素燈泡燈150℃ |
| 電子槍 | 180° or 270°的方向型 |
| 陰離子源 | 柵網平面布置RF陰離子源 ISG-130 |
| 黑耀石膜厚網絡監控儀 | 3點晶控+ CO?T LEADERⅡ＋做好監測技術點 |
| 配搭 | 朋分傘架、光控APEX(380～2000nm) |
